Laser-TTA

Ger?tebeschreibung

Zur Bestimmung der thermischen Charakteristik bzw. Impedanz von Leistungshalbleitern wird über das herk?mmliche Thermisch Transient Analyse Verfahren (TTA) das Device under Test (DUT) über eine elektrische Anregung zun?chst in eine Heiz- und anschlie?end in eine Abkühlphase gebracht. Die Messung des Temperaturverhaltens beim Abkühlvorgang des Leistungshalbleitermoduls erlaubt Rückschlüsse auf die thermischen Widerst?nde und Kapazit?ten des Modulschichtaufbaus. Je geringer die verschiedenen thermischen Kapazit?ten der Modulschichten jedoch sind, desto kritischer wird der Umschaltvorgang von der Heiz- auf die Messphase. Hierbei stellen bei der elektrischen Anregung die maximal m?gliche Schaltgeschwindigkeit, das Rausch- und ein etwaiges Schwingverhalten Problematiken dar. Ziel des Laser-TTA Messaufbaus ist es, die thermische Impedanz des Moduls statt elektrisch über einen auf das DUT fokussierten Laserstrahl anzuregen. Dieses Vorgehen soll einen m?glichst schnellen ?bergang zwischen der Heiz- und Messphase erm?glichen, welcher Rückschlüsse auf das thermische Impedanzverhalten selbst sehr dünner Schichten des Moduls zulassen kann.

Ger?teinformationen